近日，由蓝海科学仪器设计、生产的温度计标定系统圆满完成出厂测试。

项目团队奔赴客户现场，结合场地水电条件、地面承重要求完成精细化调整与整机调试，逐项验证设备稳定性，保障系统可靠运行。

现场同步开展实操培训，向操作人员讲解设备原理、标定流程与日常运维要点，助力客户快速上手。目前整套系统已顺利安装入驻华东地区国家级专精特新微电子企业。

本次落地，是蓝海科学仪器在微电子精密制造领域的又一次实践。蓝海科学仪器将持续深耕精密计量装备，以稳定可靠的自研产品，为高端制造业提供坚实支撑。

技术指标

• 工作温度区间＜10K~450K；

• 腔体极限真空＜0.001Pa；

• 样品区域温度均匀性±100mK；

• 配备挡板阀，换样时可隔离低温腔室与外界气体交换；

• 侧壁集成标准化密封电学信号接头，内部布线带隔热层。

   

• 共2根，可适配3种规格电阻：

   规格1：适配2mm×2mm×1.5mm小型铂电阻；

   规格2：适配3mm×2mm×7mm标准热敏电阻；

   规格3：适配Φ2.5×20mm圆柱陶瓷铂电阻；

• 单根样品杆承载32路独立样品工位，全部采用四线制接线；

• 杆体采用低导热材料，内置低导热引线，配多级防辐射屏蔽层；

• 样品安装台采用高导热材料，样品安装区域温差优于±100mK；

• 采用国际标准真空密封卡箍，重复插拔后仍可维持腔体高真空。

• 标准化转接工装，拆装不损伤元件引脚。

• 氦气闭循环制冷机组，最低制冷温度＜10K。

• 配套独立循环水冷机组，保障设备连续稳定运行。

• 高真空分子泵组，腔体极限真空＜0.001Pa。

  
  

• 高精度控温仪：全域控温精度±100mK，自动调节加热功率；

• 高精度采集模块：共4套，同步采集32路样品电阻，温度测量精度100mK，支持四线制测量，消除引线电阻、接触电阻干扰。

  
  

• 一体化集成仪器柜，规整排布所有仪表、电源模块；

• 工业控制计算机，作为人机交互中枢。

• 支持＜10K~450K内任意标定温度点。升降温速率、恒温保持时间可自定义设置；

• 32路样品同步采集温阻数据，实时曲线可视化；

• 自动完成控温、恒温等待、数据记录、温区切换流程，无人值守；

• 原始数据、温阻拟合曲线自动保存，支持Excel/TXT格式报告导出；

• 实时监控腔体温度、各通道阻值历史记录。