三维矢量磁场探针台专为物理科学以及相关科研实验平台打造，集成直流射频复合探针测试系统、4K高清显微观测系统、三维矢量磁场发生系统、高精度励磁电源、分体式水冷系统、专业测控软件于一体。设备可实现样品在可控三维磁场环境下的直流、射频电学原位测试，支持微磁学扫描测量，面向自旋电子学、磁性材料、半导体器件、磁电耦合效应等前沿科学实验，适配高校重点实验室拔尖人才培养与科研创新需求。

【核心优势】

· 直流射频一体化探针测试：一套设备同时支持直流低漏电测试与40GHz高频射频测试，多种夹具兼容，适配多类型器件电学表征。

· 高性能三维矢量磁场：XY±1T、Z轴±1.5T三维矢量磁场输出，支持动态交变磁场、自定义波形，平滑无断点过零，长时间高稳定输出，满足自旋器件、磁性材料多维度磁场调控实验。

· 微磁学原位扫描集成能力：预留微磁学测量模块集成接口，原位完成磁矩扫描表征，实现磁场调控与磁学电学同步测量。

· 高精度显微对位系统：宽倍率4K显微系统，从大视场样品观察到微小探针针尖对位均可覆盖。

· 开放可扩展软件架构：开放指令接口，支持二次开发，可对接用户现有实验仪器，适配拔尖人才培养中多变的科研实验需求。

· 大功率水冷+可靠电源保护：整套系统可以24小时满负荷连续运行，适合长时间实验、批量教学科研任务。

【典型应用领域】

· 自旋电子器件、磁随机存储器器件测试

· 磁性薄膜、二维磁性材料磁电耦合表征

· 半导体器件磁场下电学、射频特性原位测试

· 微磁学成像与样品表面磁矩扫描研究

【设备应用场景】

本设备适配高校物理科学实验室平台建设，用于拔尖创新人才培养，兼顾本科教学实验、研究生课题、前沿课题研究，搭建磁场环境下电学~磁学一体化表征平台。

【核心性能参数】

探针测试单元

直流探针调节机构

· X-Y-Z三轴线性移动行程：≥15mm

· 移动定位精度：≤1 μm

· 材质：全无磁材料，螺丝固定方式

· 探针座定位：10 mm间隙孔阵列，灵活调整探针座安装位置

直流探针及夹具

· 探针针尖直径：5 μm，探针数量6支

· 同轴夹具：±20 V工况漏电精度≤10 pA

· 线缆长度1.5 m，同轴公接口；黄铜镀金，整机无磁化处理

射频探针调节机构

· X/Y/Z行程15mm，定位精度≤1 μm

· 可兼容同轴夹具、三轴夹具、开尔文、射频多种夹具组合使用

· 探针水平角度调节范围-15°～+15°，角度调节精度0.1°

· 40G射频探针

· 配置探针数量：2支

· 测试频率范围：0~40 GHz

高清4K显微观测系统

· 光学放大倍率：0.5×~50×

· 视频放大倍率：38×~3800×

· 观测视野范围：0.17 mm~17 mm

· 系统最小分辨率：2 μm，满足微小器件、微区样品探针对位观察。

三维矢量磁场与磁铁平台系统

微磁学扫描兼容能力

· 磁铁平台可集成扫描式高灵敏度微磁学测量模块，实现样品表面磁矩连续扫描检测；磁矩灵敏度≤10⁻¹³ A·m²，最大扫描直径6英寸，空间分辨率100 μm。

磁场输出性能

· 三维矢量磁场输出；XY平面任意一维磁场≥±1 T，Z轴磁场≥±1.5 T

· 支持动态、静态正反方向磁场输出；支持0~50 Hz正弦波、方波以及用户自定义波形磁场信号

· 采用非开关换向励磁电源，磁场连续平滑过零无断点

· 满负荷连续工作时长≥24 h；环境温度25℃±3℃条件下磁场稳定性≤50 ppm/h

· 磁场工作区域均匀度≤1%

线包与内置高斯计

· 磁场线包采用高纯铜箔加绝缘绕制；

· 高斯计内置电源本体内部，测量分辨率≤0.01 Gs，测量量程±3 T

励磁电源系统

· 最大输出电流±90 A，具备过载、过流完整保护机制

· 通讯接口：USB、以太网，便于上位机远程控制

· 模数转换：20 bit A/D，电流设置步进2 mA

· 输出纹波有效值1 mA

循环水冷系统

· 分体式水冷机组，制冷功率14 KW，保障磁场线包、励磁电源长时间大功率稳定运行，抑制温升漂移，保障磁场指标稳定。

测控计算机配置

· 操作系统： Windows10/11 64位专业版

· CPU主频 3.5 GHz，核心12核，缓存12 MB

· 内存12 GB；存储配置：512GB SSD固态硬盘+1TB机械硬盘

· 显示器27英寸

测控软件功能

· 实现动态/静态磁场控制、数据采集、记录存储；提供外部调用指令集

· 软件支持功能扩展与二次定制开发，可根据实验需求开发专属功能模块

· 可与其他外部测试仪表耦合联动，构建一体化综合测试平台

详细内容请联系蓝海科仪销售人员